拆包机器人用多大的（拆包机器人用多大的电机）



1、2016年第四届工业机器人自动化应用大会洁净机器人的设计思想与案例分享2016年5月12日安川電機（中国）桶谷 重人安川电机公司简介公司概要公 司 名 称：株式会社安川電機YASKAWA Electric Corporation1915年（大正4年）7月16日北九州市八幡西区黒崎城石2番1号278亿日元成立：总部所在地：资本金 ：截至2015年3月20日合并单独员 工 人 数*：截至2015年3月20日销售额：2015年3月期14,333名4,002亿日元3,027名1,886亿日元*含临时员工1安川電機（中国）事业的变迁会长 兼 社长（2010年度)津田 純嗣2025年目标2015年创始人安

2、川 第五郎创立1915年1950年1980年1990年2000年电动机（煤炭搬运）钢铁造纸film plant上下水道电机系统Clean Power变频器DC伺服马达AC伺服马达产品展开Mechatronics产业用机器人将电动机电机系统技术拓展并应用到发展中的机电一体化领域FPD用机器人洁净真空机器人1958年Minertia马达1977年开发成功MOTOMAN-L10开发成功Humatronics新一代机器人下一代机器人向机电一体化领域转变1969年机电一体化申请商标注册登记（1972年注册登记）2安川電機（中国）安川电机（中国）简介安川电机（中国）1999年4月5440万美金日本株式会社

3、安川電機中国 - 上海驱动控制事业运动控制事业系统工程事业机器人事业公司名称成立时间注册资金出资公司公司总部100%事业领域销售额1,000亿日元（2014年度）分公司北京，广州，成都3安川電機（中国）安川中国的事业内容以及网点安川電機（瀋陽）伺服以及伺服驱动器的制造及销售从业人数:1,000名2013年10万台/月安川首钢机器人机器人系统设计制造、安装及服务1996年700名成立：从业人数：北京分公司上海安川電動機器变频器以及伺服的制造以及销售从业人员:900名安川（中国）機器人工业用机器人及控制装置制造量产：2013年6月从业人数：约200名营业额: 9561万元/月成都分公司广州分公司4

4、安川電機（中国）上海总部工业机器人的市场分类车体部分（点焊）悬架部分（弧焊）3C（电子/电气）金属机械加工塑料及化学食品饮料及烟草其他5安川電機（中国）一般行业移动终端家电汽车行业移动终端制造中使用的工业机器人移动终端液晶面板：半导体：外壳：6安川電機（中国）搬运、打磨机器人半导体搬运机器人FPD玻璃基板搬运机器人Broadest Robot Product Line7安川電機（中国）Industrial robots for Automotive and Other marketsArc weldingMA1440VA1400Spot weldingVS50MS80WIIMS165MS210

5、PaintingEPX1250EPX2050 EPX2800REPX2900Picking, Packing, PalletizingMPP3HMPK2MPK50II MPL80II MPL160IIHandlingMHJ MH5F MH12MH24MH50IIMH225Welding cells & systemsSpot line for auto bodiesClean room robots (Semiconductor and FPD)New Generation robotsSEMISTAR-MSeries (Semiconductor wafer handling )MR124S

6、EMISTAR-VSeries(Large size Vacuum robot)VD95D and Solar cell handlingMCL165MFL2400DECD2500DHandling/AssemblyBio-medicalSIA20DSDA10DBMDAFPD玻璃基板搬运机器人全面对应各代玻璃基板尺寸的高速、高精度的完整机器人产品线！MCL165MFL2200DMFS2500D垂直多关节型MCL系列单链接型MFS系列水平多关节型MFL系列（单腕/双腕）水平多关节型SEMISTAR-V 系列VD10SVD20DVD35DVD40DVD95D8安川電機（中国）真空环境用第2代500

7、600第3代第4代第5代第6代第7代第8代第10代大气环境用液晶行业机器人应用案例 YASKAWAFPD玻璃基板搬运机器人世界市场份额：24%（安川推定） SHARP龟山工厂：洁净度1001,000 G7搬运：洁净度1001,000 捆包拆包：洁净度10,0009安川電機（中国）半导体机器人SEMISTAR系列 YASKAWA半导体机器人世界市场份额：29%（安川推定）双腕单腕单刀片(2W)单腕双刀片(2W)单腕双刀片(4W)单腕 M101 M201 M122 M124M112SEMISTA

8、R-M系列周边设备控制器(NXC100) 晶圆定位机 行走轴TL1010for 3FOUPTL1515 4FOUPforPE11BPV1210安川電機（中国）SEMISTAR-M系列半导体晶圆搬运用洁净室机器人各种制造设备的应用案列（用途最佳化）CMP洗净防水机器人耐药机器人离子注入特殊传动器特殊传动器3轴真空传动器溅射CVD蚀刻机半导体行业应用机器人真空机器人洁净机器人洁净室机器人洁净机器人检测特殊机器人灰化机线性马达涂布显影设备active dumper曝光设备11安川電機（中国）各种制造设备的应用案列（用途最佳化）产品销售台数（）1. 洁净机器人耐药机器人防水机器人洁净室

9、机器人2. 真空机器人30,800台（81）5,200台（19）TOTAL36,000台 半导体晶圆的搬运：洁净度11012安川電機（中国）晶圆-IC芯片的微细化人的毛发的粗细香烟的烟雾颗粒病毒1000.0110.0020.05：晶圆上存在垃圾（微粒）。比起电路宽度具有更大粒径的微粒的存在， 将导致不良品的产生。13安川電機（中国）人眼能看到的最小尺寸（10）有关微粒的大小妨碍IC芯片微细化的微粒 对于半导体机器人的要求 微粒控制方式固定部 所谓磁流体密封装置是利用所谓磁流体的被磁石所吸引的奇妙的液体能够保持在磁场中的性质进行密封的旋转运动用密封单元，旋转轴（主轴）与磁极的间隙中，磁流体保持在

10、沿着由磁石形成的磁束线上。 所谓迷宫密封结构，将旋转轴和固定部之间组合数段凹凸的缝隙，每段逐渐降低漏压的构造。旋转轴14安川電機（中国）No对策内容1控制发生源使用飞散较少的润滑脂（低发尘润滑脂）擦除多余润滑脂滑动部位选用特氟龙等光滑并且耐磨性良好的材料2驱动部分配置的考虑将驱动部分设置在晶圆的下方3已发生的微粒不外流驱动部分以外壳覆盖，极力做成密闭构造采用磁流体密封装置采用迷宫密封结构机器人内部的排气（负压）4晶圆背面微粒的抑制机械臂末端等和晶圆接触的零部件，将其与晶圆接触的面积最小化。（使用导电性材料同样有效）5清洗切实进行零部件清洗及擦拭（超声波清洗等）LABYRINTH密闭构造关于洁净

11、机器人的说明MOTOMAN-MFL/MFS/MCL系列洁净机器人与一般工业机器人有着极大的区别，从产品开发、制造工艺、出厂检测、适应应用环境等各方面都有着根本的不同。只有对洁净环境要求有着深刻认识和研究的机器人制造厂商才能设计、制造出适合此环境的适用产品。下面就不同的工艺过程进行简要的说明：首先，产品设计上必须考虑机器人在将来的作业过程中不能污染作业环境。因此洁净机器人各轴采用密闭结构设计（见下图：左图为一般工业机器人构造、右图为洁净机器人构造），确保作业过程中不排出微粒粉尘，保持空间洁净度要求。 一般机器人（无LABYRINTH构造）15安川電機（中国）第2工厂(洁净室部分)概要16安川電機

12、（中国）洁净室内的booth的必要条件必须在有严格管理的洁净厂房内.洁净放置基座：Class1. 新产品的评价试验用2. 特定要求实验用Clean booth管理表17安川電機（中国）洁净度测试方法+结果(参考） 动作Pattern待机姿势（U=0, S=-90）LR轴切换动作上升回旋（U=1800, S=90）LR軸切换动作下降回旋（U=0, S=-90）U7R3S1U6-2U6-1R240sec/cycle重复动作U5U8R1U4U2U3U1U9U10MFL2200机种的测试结果:個cf318安川電機（中国）S1U1U2U3U4U5U6-1U6-2U7U8U9U10R1R2R3Back Ground0.1m以上011000.3m以上000000.5m以上00000洁净度测试方法+结果（参考）Particle测试结果【固定位置】 动作Pattern待机姿势（U=0, S=-90）LR轴切换动作上升回旋（U=1800, S=90）LR轴切换动作下降回旋（U=0, S=-90）以4

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